执行标准：B708-98
产品规格：￠(25-400)~￠(3-28)mm
钽溅射靶材

圆靶材规格:直径（25-400）mm *厚度(3-28)mm
方靶材规格：厚度(1-12.7)mm*宽度(10-600)mm*长度(200-2000)mm
牌号： RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度 :  >=99.95%(最大99.99%)             
再结晶    :   95%最少
晶粒度   :   最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.8 最大
平整度    :  0.1mm or 0.10% 最大.
公差     :    直径公差+/- 0.254
如有特殊要求，双方具体商定